Membaca niat sholat tahajud
Takbiratul Ihram dan memasang niat di dalam hati pada saat ini.
Membaca Al-Fatihah
Membaca surat pendek atau satu ayat yang dapat dipahami.
Rukuk dengan thuma'ninah (tenang sejenak selama pembacaan 1 kali tasbih)
Membaca tasbih rukuk 1 kali
Itidal dengan thuma'ninah
Membaca doa itidal
Sujud pertama dengan thuma'ninah
Membaca tasbih sujud
Duduk diantara dua sujud dengan thuma'ninah
Membaca doa diantara 2 sujud
Sujud ke-2 dengan thuma'ninah
Membaca tasbih satu kali
Duduk istirahat sejenak sebelum bangun.
Bangun dan melanjutkan rakaat ke-2